Product Center

产品中心

当前位置:
首页
>
>
>
BG-406系列曝光机

产品分类

浏览量:
1000

BG-406系列曝光机

BG-406系列曝光机主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、GPP器件、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准和曝光。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
所属分类
曝光设备
1
产品描述
参数
BG-406系列曝光机主要用于中小规模集成电路、二极管、三极管、GPP器件、LED、电力电子器件、MEMS和其它半导体器件制造工艺中的对准和曝光。该系列曝光机包括4″、6″单/双面曝光机,可实现单/双面对准、单面曝光。

The series of BG-406 Mask Aligners could be used in aligning and exposure process of small or middle scale IC, Diode, dynatron, GPP, LED, Power Electronic devices, etc. The series of Mask Aligners include 4″,6″single/double sides aligning and single side exposure.

主要技术指标  Main Specifications  

 

性能名称 技术指标  Performance name Technical index
适用基片尺寸 Max 6″(φ150 mm) Substrate Size Max 6″(φ150 mm)
适用掩模版尺寸 Max 7″(175×175 mm) Mask Size Max 7″(175×175 mm)
对准精度  顶部显微镜 ±0.5μm   Alignment Accuracy     Top Microscope   ±0.5μm
低部显微镜 ±4μm   Bottom Microscope   ±4μm
曝光分辨率 1.5μm(胶厚≤1μm正胶、真空接触) Exposure Resolution 1.5μm(Glue thickness ≤ 1μm positive glue, vacuum contact)

 

 

关键词:
曝光
显微镜
扫描
范围
系统
物镜
对准精度
采用
工作台
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
三河建华高科

办公室电话 : 010-61597089 / 010-61594769

手机 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

公司地址 : 河北省三河市燕郊开发区海油大街253号

网址 : www.jianhuagk.com

手机站

销售微信

手机站

销售微信

Copyright © 2021 三河建华高科有限责任公司  版权所有  冀ICP备2021017682号-1   中企动力  北京

Language