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8″Wafer SMIF Pod

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8″Wafer SMIF Pod

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产品描述
参数

开放式晶圆盒 ,自动化传送盒内放置晶圆料盒(Cassette),可固定晶圆,进入SMIF上料口输送,确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。

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