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TZ-1200全自动探针台

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TZ-1200全自动探针台

该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件器件及IC的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。

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产品描述

参数

该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件及IC的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。

The equipment is fully automatic，which is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of the discrete device and IC.After it is connected with the tester,it can automatically test the electrical parameter and function of the chip.

主要技术指标 Main Specifications

可测片径	8"、12"	Wafer Size	8"、12"
最大行程	360mm×700mm	Max Travel Range	360mm×700mm
定位精度	<0.002mm/300mm	Positioning Accuracy	<0.002mm/300mm
步进分辨率	0.0001mm	Resolution	0.0001mm
Z向行程	50mm	Chuck Z-axis Travel	50mm
Z向定位精度	<0.002mm/50mm	Z-axis Positioning Accuracy	<0.002mm/50mm
Z向分辨率	0.001mm	Z-axis Resolution	0.001mm
θ向自动调节范围	±10°	θ Rotation Angle	±10°
θ向分辨率	0.0013°	θ Resolution	0.0013°