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热板、冷板、增粘工艺模块

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热板、冷板、增粘工艺模块

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匀胶显影配件
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资质文件
产品描述
参数

热板、冷板、增粘工艺模块是对晶圆进行预烘、冷却、增粘处理，层与层之间留有50mm间距，方便对盘体进行清洁。盘体材质为优质铝合金，外表面进行硬质阳极氧化处理。晶圆与盘体为非直接接触方式，由陶瓷球保证0.2mm间隔，受热更均匀，采用自调整PID温度控制控制算法，温度稳定、精度高。

未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
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电动/气动胶泵
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背喷接头
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