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TZ-506B全自动探针测试台

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TZ-506B全自动探针测试台

该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件器件GPP的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。

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产品描述

参数

该设备为全自动设备，主要用于半导体分立器件GPP的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。

The equipment is fully automatic，which is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of the discrete device and GPP chip.After it is connected with the tester,it can automatically test the electrical parameter and function of the chip.

主要技术指标 Main Specifications

可测片径	4″、5″	Wafer Size	4″、5″
最大行程	170mm×240mm	Max. Travel Range	170mm×240mm
定位精度	≤±0.030mm/150mm	X/Y Positioning Accuracy	≤±0.030mm/150mm
步进分辨率	0.001mm	X/Y Resolution	0.001mm
Z向行程	3mm	Chuck Z-axis Travel	3mm
Z向重复定位精度	≤±0.003mm	Z-axis Positioning Accuracy	≤±0.003mm
Z向分辨率	0.001mm	Z-axis Resolution	0.001mm
θ向自动调节范围	±10°	θ Rotation Angle	±10°
θ向分辨率	0.0013°	θ Resolution	0.0013°