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TZ-609双面测试探针测试台

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TZ-609双面测试探针测试台

主要用GPP及TVS等双面器件晶圆芯片电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。
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所属分类
探针测试
1
产品描述
参数

主要用GPP及TVS等双面器件晶圆芯片电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。

It mainly analyzes and tests the electrical parameters of wafer chips with double-sided devices such as GPP and TVS. After the device is connected with the tester, it can automatically complete the electrical parameter test function of the chip.

主要技术指标  Main Specifications

可测片径

4″、5″

Wafer Size

4″、5″

最大行程 170mm×240mm

Max. Travel Range

170mm×240mm

定位精度 ≤±0.020mm/150mm

X/Y Positioning Accuracy

≤±0.020mm/150mm

步进分辨率 0.001mm

X/Y Resolution

0.001mm

Z向行程 10mm

Chuck Z-axis Travel

10mm

Z向重复定位精度 ≤±0.003mm

Z-axis Positioning Accuracy

≤±0.003mm

Z向分辨率 0.004mm

Z-axis Resolution

0.004mm

θ向自动调节范围 ±5°

θ Rotation Angle

±5°

θ向分辨率 0.0013°

θ Resolution

0.0013°

 

 

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