Product Center

产品中心

当前位置:
首页
>
>
>
TZ-803A自动探针测试台

产品分类

浏览量:
1000

TZ-803A自动探针测试台

该设备主要用于半导体分立器件,光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
所属分类
探针测试
1
产品描述
参数

该设备主要用于半导体分立器件,光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。

The equipment is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of discrete devices, photoelectric devices and IC. After it is connected with the tester, it can automatically test the electrical parameters and functions of the chip.

主要技术指标  Main Specifications

 

可测片径 5″、6″、8″

Wafer Size

5"、6"、8"

工作台最大行程 240mm×300mm 

Max. Travel Range

240mm×300mm

定位精度 ≤±0.010mm/200mm

X/Y Positioning Accuracy

≤±0.010mm/200mm

工作台最大速度 200mm/s

X/Y Axis Speed

200mm/s

步进分辨率 0.001mm

X/Y Resolution

0.001mm

承片台Z向行程 20mm

Chuck Z-axis Travel

20mm

Z向定位精度 ≤±0.003mm

Z-axis Positioning Accuracy

≤±0.003mm

Z向分辨率 0.001mm 

Z-axis Resolution

0.001mm

θ向调节范围 ±6°

θ Rotation Angle

±6°

 θ自动对准精度 ≤±0.01°

Alignment Accuracy

≤±0.01°

外形尺寸 750mm×1250mm×1600mm

Outline Dimension

750mm×1250mm×1600mm

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
三河建华高科

办公室电话 : 010-61597089 / 010-61594769

手机 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

公司地址 : 河北省三河市燕郊开发区海油大街253号

网址 : www.jianhuagk.com

手机站

销售微信

手机站

销售微信

Copyright © 2021 三河建华高科有限责任公司  版权所有  冀ICP备2021017682号-1   中企动力  北京

Language