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TZ-803A自动探针测试台

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TZ-803A自动探针测试台

该设备主要用于半导体分立器件，光电器件以及集成电路晶圆上各个芯片的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后，能自动完成芯片的电参数测试功能。

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资质文件

产品描述

参数

The equipment is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of discrete devices, photoelectric devices and IC. After it is connected with the tester, it can automatically test the electrical parameters and functions of the chip.

主要技术指标 Main Specifications

可测片径	5″、6″、8″	Wafer Size	5"、6"、8"
工作台最大行程	240mm×300mm	Max. Travel Range	240mm×300mm
定位精度	≤±0.010mm/200mm	X/Y Positioning Accuracy	≤±0.010mm/200mm
工作台最大速度	200mm/s	X/Y Axis Speed	200mm/s
步进分辨率	0.001mm	X/Y Resolution	0.001mm
承片台Z向行程	20mm	Chuck Z-axis Travel	20mm
Z向定位精度	≤±0.003mm	Z-axis Positioning Accuracy	≤±0.003mm
Z向分辨率	0.001mm	Z-axis Resolution	0.001mm
θ向调节范围	±6°	θ Rotation Angle	±6°
θ自动对准精度	≤±0.01°	Alignment Accuracy	≤±0.01°
外形尺寸	750mm×1250mm×1600mm	Outline Dimension	750mm×1250mm×1600mm