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TZ-606全自动探针测试台

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TZ-606全自动探针测试台

该设备为全自动设备,主要用于半导体分立器件器件及IC的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。
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所属分类
探针测试
1
产品描述
参数

该设备为全自动设备,主要用于半导体分立器件器件及IC的电参数分析、测试。该设备配接测试仪后,能自动完成芯片的电参数测试功能。

The equipment is fully automatic,which is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of the discrete device and IC.After it is connected with the tester,it can automatically test the electrical parameter and function of the chip.

 

主要技术指标  Main Specifications

可测片径 4"、5"、6"

Wafer Size

4"、5"、6"
最大行程 240mm×300mm

Max Travel Range

240mmx300mm

定位精度

≤±0.01mm/160mm

X/Y Positioning Accuracy

≤±0.01mm/160mm

步进分辨率

0.001mm

X/Y Resolution

0.001mm

Z向行程

10mm

Chuck Z-axis Travel

10mm

Z向重复定位精度

≤±0.003mm

Z-axis Positioning Accuracy

≤±0.003mm

Z向分辨率

0.001mm

Z-axis Resolution

0.001mm

θ向自动调节范围

±10°

θ Rotation Angle

±10°

θ向分辨率

0.0013°

θ Resolution

0.0013°

 
关键词:
手动
可选
主要
可配
工作台
方式
操作
显微镜
行程
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