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DYX-430SY自动匀胶机

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DYX-430SY自动匀胶机

该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、预烘工艺。 The equipment is mainly used for wafer coater and pre baker process in LED, MEMS, IC, etc.
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所属分类
匀胶显影
1
产品描述
参数

该设备主要用于LED、MEMS、IC等行业标准晶圆匀胶、预烘工艺。

The equipment is mainly used for wafer coater and pre baker process in LED, MEMS, IC, etc.

主要技术特点  Main Features

采用星型布局形式,结构紧凑,效率高。

Adopt star layout, compact structure and high efficiency.

上/下片工位  Up / Down Station

铝制标准晶圆片盒,不变形、易转片。

Aluminum standard cassette, no deformation, easy to turn.

双臂机械手 Double Arm Robot

选用进口多关节双臂机械手,不仅具有较高的刚度、灵活性,而且传输速度快,定位精度高。

The imported multi joint double arm bobot not only has high rigidity and flexibility, but also has fast transmission speed and high positioning accuracy.

 

匀胶单元  Coater Unit

匀胶腔采用进口PP材料制成,主轴电机采用进口定制的中空轴交流无刷伺服电机,保证旋转转速、加速度控制精度高,重复性、稳定性好。

The cup is made of imported PP material. The spindle motor adopts the imported customized hollow AC brushless servo motor, ensure high accuracy, repeatability and stability of rotation speed and acceleration control.

冷/热板单元  CP/HP Unit

冷板/热板单元是对晶圆进行预烘及冷却处理,晶圆与盘体为非直接接触方式,温度稳定、精度高。

The CP/HP unit is to pre bake and cool the wafer. The wafer and the plate are not in direct contact, stable temperature and high precision.

 

 

主要技术指标  Main Specifications

晶圆尺寸 3″、4″

Wafer Size

3″, 4″

机械手 1套

Robot

1 set

匀胶单元

3套

Coater Unit

3 sets

主轴转速 0~6000rpm

Spindle Speed

0~6000rpm

最小调整量 1rpm

min. adjustment

1rpm

转速精度

±1rpm(50~5000rpm)

Speed Accuracy

±1rpm(50~5000rpm)

主轴加速度 100~20000rpm/sec

Spindle Acceleration

100~20000rpm/sec

胶液数量 2路

RP Quantity

2 sets

背洗功能

可选

BSR

optional

去边功能

可选

EBR

optional

光刻胶供给 精密胶泵

PR Supply

 precision PR pump

光刻胶供给量 1~10ml

PR Supply

1~10ml

光刻胶供给精度 ±0.1ml

PR Supply Accuracy

±0.1ml

光刻胶粘度 ≤1000Cp

PR Viscosity

≤1000cp

光刻胶过滤 可选

PR Filtration

optional

热板数量 6套

Number of HP

6 sets

温度范围 室温~180℃

Temperature Range

room temperature ~180℃

最小调整量 0.1℃

Min. Adjustment

0.1℃

加热方式 云母加热片加热

Heating Method

mica heating

温度均匀性 ±1℃@50℃~120℃、±2℃@120.1℃~180℃

Temperature Uniformity

±1℃@50℃~120℃,±2℃@120.1℃~180 ℃

冷板数量 2套

Number of CP

 2 sets

冷却方式 厂务冷却水循环冷却

Cooling Mode

 factory cooling water

水温范围 18℃~30℃

Water Temperature Range

18℃~30℃

外形尺寸 L1750mm×W1600mm×H1900mm

Outline Dimension

L1750mm×W1600mm ×H1900mm

重量 1600Kg

Weight

1600Kg

 

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